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크린룸의 규격

Fed, Std. 209E의 개요(Outline of Fed. Std. 209E)
Class의 상한치는 각 Class이름이 된다.
상한치는 지정입 이상의 농도 (단위 체적당 입자수)로 표시된다.


Fed, sd, 209E의 개요(Ouline of Fed, Std, 209E)

항목 내용
단위 Miter법을 주로하고 영국단위를 병용해서 기록
CLASS표시 0.5㎛이상의 입작수를 10/㎥로 하고 ,X를 Class표시로 했다. Miter법 표시임을 명확히 하기 위해 M을 부가했다.
CLASS분류 209D Class 1보다 청정도가 높은 Class M1 및 Class 100,000보다 청정도가 낮은 Class M7을 추가했다.
미소입자계측 계측에 CNC의 사용을 가능하게 하고, 그 경우 계측입자 지름을 0.02㎛이상으로 했다. 이 경우 표시는 Class U(X)로 한다.
U = 미소입자 계측표시
X = 최대 허용입자농도 P/㎥
표준측정입자 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 5 Micron을 기준으로하나, 그외의 입자 지름을 사용해도 좋다.
샘플링 계측장소에 따라 다른 샘플링 유량에 의해 계측해도 좋으나, 입자농도는 개/단위체적으로 표시할것.
샘플링 점이 10군데 이상인 경우 측정치는 단순평균 으로 괜찮다. Class M2.5보다 청정도가 높은 경우에는 계측 시간단축을 위해 연속 샘플링 해도 좋다.
부록 209D의 관련규격, 용어는 삭제되고 등속흡인법, 초미소립자 농도 측정법, Class M2.5보다 청정도가 높은 경우의 연속 샘플링법의 3항목이 추가된다.

Fed, sd, 209E Class의 분류

Class 표시 Class 상한치
0.1㎛ 0.2㎛ 0.3㎛ 0.5㎛ 5㎛
단위체적 단위체적 단위체적 단위체적 단위체적
Meter법 영국단위 (㎥) (ft³) (㎥) (ft³) (㎥) (ft³) (㎥) (ft³) (㎥) (ft³)
M1 - 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10 0.283 - -
M1.5 1 1,240 35 265 7.5 106 3 35.3 1 - -
M2 - 3,500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 - -
M2.5 10 12,400 350 2,650 75 1,060 30 353 10 - -
M3 - 35,000 991 7,570 214 3,090 87.5 1,000 28.3 - -
M3.5 100 - - 26,500 750 10,600 300 3,530 100 - -
M4 - - - 75,700 2,140 30,900 875 10,000 283 - -
M4.5 1,000 - - - - - - 35,300 1,000 247 7
M5 - - - - - - - 100,000 2,830 618 17.5
M5.5 10,000 - - - - - - 353,000 10,000 2,470 70
M6 - - - - - - - 1,000,000 28,300 6,180 175
M6.5 100,000 - - - - - - 3,530,000 100,000 24,700 700
M7 - - - - - - - 10,000,000 283,000 61,800 1,7

크린룸의 기류속도

Clean Room의 기류속도 선택에 관한 일반적인 규칙을 나타낸다.
기류속도는 (1)평균속도(m/sec or ft/min) 또는 (2)시간당 환기횟수(횟수/hour)로 규정된다.

Clean Room의 기류속도(IES-RP-CCO12/Table 1)

Class 기류형태 평균기류속도1 시간당환기2
M7&M6.5(Class 100,000) NM .005- .041m/sec (1-8ft/min) 5 - 48
M6&M5.5(Class 10,000) NM .051- .076m/sec (10-15ft/min) 60 - 90
M5&M4.5(Class 1,000) NM .127- .203m/sec (20-40ft/min) 150 - 240
M4&M3.5(Class 100) UNM .203- .406m/sec (40-80ft/min) 240 - 480
M3&M2.5(Class 10) U .254- .457m/sec (50-90ft/min) 300 - 540
M2&M1.5(Class 1) U .305- .457m/sec (60-90ft/min) 360 - 540
M1 Cleaner U .305- .508m/sec (60-100ft/min) 360 - 600
(U=단일 방향류 N=비단일 방향류 M=혼류)
1. 평균기류속도는, 일반적으로 단일 방향류(층류)경우에 이용한다.
2. 시간당 환기 횟수는, 다음의 식에 의해 산출된다.







Lay-out주의점

항 목 내 용
출입구 입구, 출구는 최소로 하고 따로 생각해야 한다
(특히 Air Shower 설치시)
직접 외기에 닿지 않도록 할것 (Air 락룸)
위치는 하류로 한다.(특히 크로스플로어) 
갱의실 갱의실의 공기량은 많이 취할 것
세면대를 부착시키고, 사람이 많은 경우는 음료수를 준비
Clean Room간은 적어도 이중문으로 할 것
(Air Shower 장치 설치)
내부와의 통신을 가능하게 할 것
필요하다면 휴식실을 설치한다.
반  출 가능한 한 Pass Box를 이용(부품)
반  입 반입구를 부착시킨다.(대형장치)
실내배치 최소로한다. 단순하게 한다
관리사무소를 외부에 둔다. 연락법 고려
확장계획 
사람의 이동을 최소로 한다
청정기류 방향과 작업위치
발진 작업에는 칸막이, 국소배기, Return Duct로 대책
실내설비 배선, 관 Duct 노출은 최소로 한다
조명기구는 가능한한 천장안으로
비상구, 화재경보, 소화기, 정전, 유독가스
인터폰, 전화 
청소 
입자농도, 온도, 습도기록