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크린룸 설계




기류방식과 특징

항목/ 방식 수직층류방식 수평층류방식 난류방식 클린튜브방식 터널방식
Vertical Laminar Horizontal Laminar Turbulent Airflow Clean Tube Tunel
Airflow Clean Room Airflow Clean Room Clean Room Clean Room Clean Room
청정도 Class 1~100 Class 100 Class 1000~100000 Class 1 Class 1~100
작업중 청정도 작업자로부터 상류발진이 하류에
영향을 끼친다.
작업자로부터 작업자로부터 작업자로부터
영향은 적다. 영향 있음 영향 있음 영향은 적다.
초기투자비용
운전비용
보수 쉬움 어려움 쉬움 어려움 어려움
유지관리 쉬움 쉬움 쉬움 어려움 쉬움
확장성 어려움 어려움 가능하다 어려움 쉬움
정밀제어 실전체 제어를 위해 실내의 불균형 약간 있음 상류발진이 하류에 영향을 끼친다. 불균형 있음 고청정도 유지 작업부마다 고정밀도 제어 가능
시스템